荷蘭激光沉積設備制造商Solmates宣布，向華星光電（CSOT）出售了一套小型面板（200×200mm）脈沖激光沉積（PLD）設備，將用于武漢的OLED試產(chǎn)線。華星光電將采用新設備向OLED顯示屏上沉積ITO電極。

    Solmates擁有采用脈沖激光沉積實現(xiàn)OLED ITO電極沉積專利，并開發(fā)出能在室溫下大面積沉積ITO的技術。脈沖激光沉積可以實現(xiàn)高品質(zhì)ITO沉積，Solmates表示，實現(xiàn)透明度高于目前的工藝。Solmates的設備將被安裝于自2016年底開始在武漢建設的自動化裝配產(chǎn)線。Solmates將于2017年6月發(fā)貨。目前的設備主要用于研發(fā)，不過該技術也可以擴展到更大基板以及用于生產(chǎn)系統(tǒng)。

    華星光電將采用該設備進行ITO沉積，但也可以配置用于封裝層無機層的沉積，這一流程目前采用PECVD或ALD工藝。

    華星光電為TCL子公司，于2015年7月宣布建設武漢6代LTPS工廠。該廠將生產(chǎn)液晶和OLED面板，總投資26億美元。采用激光脈沖沉積法的新研發(fā)產(chǎn)線也位于該廠，將用于新技術研發(fā)和改善公司的OLED制造工藝。