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華引芯企校聯合研究中心前沿項目發布最新研究成果

來源:投影時代 更新日期:2024-04-03 作者:pjtime資訊組

    近期,《自然·通訊》(Nature Communications)在線刊發“華中科技大學-華引芯(武漢)科技有限公司 新型半導體顯示光源聯合研究中心”題目為“Boosting the electron beam transmittance of field emission cathode using a self-charging gate”研究成果。

    電子束聚焦技術可以通過外加電場或磁場實現,具有高分辨率、精密控制、非接觸加工和適用范圍廣的特點。這一技術被廣泛應用于半導體行業的芯片制造、納米加工領域的納米結構制備、光刻領域的光罩制作以及光源領域中的顯示成像。

    如圖所示,研究團隊在器件表面沉積了一層駐極體材料氮化硅(SiNx),SiNx駐極體內部的Si3+陷阱中心可以實現對電子的捕獲和穩定存儲。當電子發射到器件表面后,器件會捕獲電子進行充電,充電后的器件表面帶負電,從而可以實現對后續電子的穩定聚焦效果。不同于傳統的電子束聚焦方案,這種新型的電子束聚焦方案不需要引入額外的靜電場或磁場,為實現對電子束的精準控制提供了新的可能,在微納制造領域具有重要應用前景。

華引芯企校聯合研究中心前沿項目發布最新研究成果

基于SiNx駐極體的電子束聚焦原理和器件結構

    該工作在華中科技大學光電學院與引力中心實驗平臺共同完成,得到了國家自然科學基金和華中科技大學-華引芯(武漢)科技有限公司 新型半導體顯示光源聯合研究中心項目的資助。

    論文鏈接:https://www.nature.com/articles/s41467-024-45142-0

    本篇轉載自華中科技大學光電學院

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